本案位於新竹科學園區三期內，基地面積約9.2公頃，第一期工程規畫內容為主廠房一棟、測試大樓一棟、公用廠房一棟、變電站及廢水處理廠一棟；主廠房內分生產區、支援區及辦公區，生產區主體為二座8″晶園生產廠房(四廠／五廠)，主要生產廠房位於三層，二層為潔淨設備配管及回風區，一層為一般設備管線區。

四廠及五廠間之各樓層除一層為成品及物料倉庫外，其它各樓層為共用之支援供應區，並以地下管溝連接公用廠房。測試大樓為地下二層、地上七層之建築，地下層為停車場，一層為大廳、會議、倉儲區，二層以上為測試區使用，並將員工餐廳配置於測試大樓與生產廠房間之二、三樓，可供員工方便使用，並以一樓挑空供道路通行，跨距達36.5公尺。

廠房區主要外牆材料為4.5㎝×4.5㎝彩虹磚，但以不同顏色之材料將廠房之量體減低，並在主廠房生產區與辦公區用有罩採光天井區隔，提供自然光線予辦公區內之工作人員。

測試大樓正面主入口設計採用線條簡潔之玻璃帷幕牆，以凸顯高科技廠房之精準、效率意象。公用廠房、變電站及廢水處理廠，提供全廠區所用之動力、空調、壓縮空氣、超純水、廢水處理等，並預留二期工程之空地，可供未來增建六廠及測試大樓二期，第一期總工程樓地板面積約130,600平方公尺，建築工程總造價約1,600,000,000元，全部工程於1998年6月竣工。