新竹科學工業園區管理局為協助新入園區設廠之公司，在其自建廠房前，有一可供暫作生產及研究發展之場所，故每年編列經費興建若干150坪至300坪不等之標準廠房出租。標準廠房設公共之門廳與卸貨台，各單元內有基本之機電、廁所等設施及方正有彈性之生產區。本所自1981年起負責參與設計多期之該等廠房如下：

三期：簡單但具高科技意象之二層建築二棟共16單元，每單元約165坪，其中一棟並附設地下室作為餐廳等公共空間，1982年底完成，總工程造價約68,000,000元。

四期：以三期之設計重複使用，僅配合基地作環境設計之調整，1983年完成。
六期：共五棟地上二層建築，其中四棟相同，配合規劃圍聚成一大型合院空間，每棟8單元，每單元約165坪；另一棟4單元，每單元約100坪，陸續於1985年至86年間完成，總工程造價約185,000,000元。

七期甲棟：嘗試以中國傳統建築簡化之語彙，溶入高科技廠房之設計中，地上二層8單元，每單元約250坪，地下一層為餐廳等公共設施，總工程造價約51,400,000元，於1987年完成。
八期甲棟：與七期甲棟相似，僅作局部之修改，亦為地上二層之8單元建築物，每單元約250坪，總工程造價約52,500,000元，於1990年竣工。

八期乙棟：與園區其他廠房不同，本棟為專供研究發展使用之小型「保溫箱」(Incubator)單元，每單元以30坪為模矩，租用戶可使用30、60或90坪之組合。各單元使用共同之服務空間如會議室、行政服務區及廁所，機電與裝卸貨等空間，旨在協助新創立公司其設廠之先期費用減至最低。本工程地下一層地上五層，造型配合內部表達小單元之特性，總樓地板面積1,350坪，總工程造價約32,000,000元，於1988年竣工。

八期40單元：為因應急遽增加之租賃需要，以減輕供不應求之壓力，管理局特經行政院國科會允准，增建標準廠房40單元。本期廠房共三棟，以三／四層為主，並提供自200坪至400坪不等之不同單元，本案亦再嚐試轉化之傳統建築語彙，配置上與本區原有建物一起考慮，規劃成一完整之街廓，以景觀式大型停車場為中心。廠房總樓地板面積1,537坪，總工程造價約186,500,000元，1989年竣工。

九期：甲、乙棟重複使用八期40單元中之各一棟，提供300坪之單元16個。丙、丁、戊、己、庚棟自成一區，配置上作整體規劃，成為完整之街廓；其中丙、丁棟為地上四層，戊、己、庚棟為地上三層，並以己棟之地下層為之餐廳、康樂室等公共服務空間，丙、丁、戊棟為生產性質之廠房，每單元約200坪，庚棟為研發性之小廠房，每單元約100坪，本期總工程造價約200,000,000元，於1990年竣工，本期工程由本所與啟大建築師事務所合作設計監造。